最後更新:2026年10月23日化學品供應系統

Quali-Line Prima 2的特點與規格

科磊(KLA)・化學品供應系統

線上分析・管理銅鑲嵌電鍍液的系統。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Quali-Line Prima 2 是科磊(KLA)的線上化學品管理系統。分析並管理先進節點的銅鑲嵌電鍍製程。

針對先進晶片、太陽能電池、硬碟的量產而開發,支援傳統、超低與高銅濃度的電鍍液,支撐半導體元件精確的銅電鍍。

容易與先進電鍍設備搭配,可快速分析無機成分與有機成分,以高精度與高再現性進行管理。

主要規格

方式線上化學品分析・管理
對象銅鑲嵌電鍍液(低・超低・高 Cu 濃度)
主要用途先進節點的 Cu 電鍍

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

電鍍液的線上分析
管理無機・有機成分
可與電鍍設備搭配

主要用途

  • 銅導線的電鍍液管理

製造商與在台據點

在台據點
  • 台灣總部(新竹縣竹北市):台元科技園區,2025 年啟用新辦公室與訓練中心
  • 各地據點(新竹・桃園・林口・台中・台南・高雄):就近支援各科學園區的客戶

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資料來源

  1. 科磊(KLA)官方產品頁面:KLA