Quali-Line Prima 2 是科磊(KLA)的線上化學品管理系統。分析並管理先進節點的銅鑲嵌電鍍製程。
針對先進晶片、太陽能電池、硬碟的量產而開發,支援傳統、超低與高銅濃度的電鍍液,支撐半導體元件精確的銅電鍍。
容易與先進電鍍設備搭配,可快速分析無機成分與有機成分,以高精度與高再現性進行管理。
線上分析・管理銅鑲嵌電鍍液的系統。
Quali-Line Prima 2 是科磊(KLA)的線上化學品管理系統。分析並管理先進節點的銅鑲嵌電鍍製程。
針對先進晶片、太陽能電池、硬碟的量產而開發,支援傳統、超低與高銅濃度的電鍍液,支撐半導體元件精確的銅電鍍。
容易與先進電鍍設備搭配,可快速分析無機成分與有機成分,以高精度與高再現性進行管理。
| 方式 | 線上化學品分析・管理 |
|---|---|
| 對象 | 銅鑲嵌電鍍液(低・超低・高 Cu 濃度) |
| 主要用途 | 先進節點的 Cu 電鍍 |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。