Quali-Line Prima 2とは
Quali-Line Prima 2 は、KLA のオンライン薬液管理システムです。先端ノードの銅ダマシンのめっき工程を分析・管理します。
先端チップ、太陽電池、ハードディスクの量産向けに開発され、従来、超低、高い銅濃度のめっき液に対応し、半導体デバイスの正確な銅めっきを支えます。
先端のめっき装置と組み合わせやすく、無機成分と有機成分をすばやく分析して、高い精度と再現性で管理します。
主な特長
- •めっき液のオンライン分析
- •無機・有機成分の管理
- •めっき装置と組み合わせ可能
主な仕様
| 方式 | オンライン薬液分析・管理 |
|---|---|
| 対象 | 銅ダマシンめっき液（低・超低・高 Cu 濃度） |
| 主要用途 | 先端ノードの Cu めっき |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | エア・ウォーター特殊ケミカル供給装置 | EntegrisFluoroPure® 容器／Sentry® クイックコネクト | KLAQuali-Line® Prima® 2 | KLAQualiSurf® |
|---|---|---|---|---|
| 主要用途 | 成膜装置等への高純度ケミカル供給 | バルク薬液の汚染なき供給 | 先端ノードの Cu めっき | — |
| 供給対象 | 特殊ケミカル（毒性・可燃・腐食性材料を含む） | 高純度液体薬液 | — | — |
| 構成 | 供給装置・蒸気量制御用の恒温槽ほか | フッ素樹脂容器・中間バルク容器・クイックコネクト | — | — |
| 方式 | — | — | オンライン薬液分析・管理 | オンライン薬液監視（15 以上の分析法） |
| 対象 | — | — | 銅ダマシンめっき液（低・超低・高 Cu 濃度） | FEOL・MOL・BEOL のウェットエッチング・洗浄 |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 特徴 | — | — | — | 自動校正・検証・自己診断 |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •銅配線のめっき液管理
掲載カテゴリ
Quali-Line Prima 2は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
薬液供給システムのほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07