化學品供應系統是什麼
化學品供應系統（Chemical Delivery System）是對晶圓清洗、蝕刻、CMP、光阻塗布等前段製程各設備，精密計量・混合並供應高純度化學品（HF・硫酸・SC-1/SC-2 清洗液・顯影液等）的廠務設施。即時管理化學品的濃度、溫度、流量與潔淨度，確保製程再現性與安全性。PFA・PVDF 等耐化學性材料的供應管路，以及儲槽的洩漏偵測・緊急遮斷系統，在 EHS 上十分重要。透過使用點（POU）調配方式，可彈性因應少量多樣的製程並減少化學品廢棄量。由於化學品品質的穩定性直接影響製造良率，因此需要與感測器・控制系統整合管理。
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尾氣處理設備（Abatement）
尾氣處理設備（abatement system）是在半導體製造製程中產生的有害副產物與未反應氣體排放至大氣前，將其無害化的環境・安全設備。
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氣體供應・偵測系統氣體供應・偵測系統是將氣體送達整座晶圓廠，並守護其純度與安全的設施類別。
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