Smartwafer2的特點與規格

Smartwafer2 是科磊的晶圓傳送監控器兼原位機械測試器。通過製造設備內部，記錄沿路徑的振動與加速度。記錄結束後，由外部讀取站將資料匯入 PC。

將機械資料與設備事件的順序同步，並與正常時的履歷（指紋）比較。從異常訊號找出會在晶圓上造成微粒、缺陷、刮傷的不良零件或對準偏移。

由於使用標準 300mm 矽晶圓，可與一般產品晶圓以相同行為跑相同的傳送配方。電子電路以矽膠黏著劑塗覆並具防水性。另有適用 300mm 自動化晶圓廠的裝載埠。