Tencor P-17 是科磊(KLA)的桌上型探針式階高量測儀(stylus profiler)。為以 45 年以上表面量測經驗打造的第8代產品,可量測數 nm 到 1mm 的階高。研發與生產環境皆有使用。
以 2D 與 3D 探針量測,量測階高、粗糙度、翹曲與應力,掃描無需拼接、最長 200mm。結合 UltraLite 感測器、定力控制與超平坦的掃描平台,取得高量測穩定性。
以點選式平台操作、上方・側方光學系統、具光學變焦的高解析度相機,可輕鬆設定配方,並以圖形辨識、序列與特徵偵測進行全自動量測。面向更大樣品的 P-17 OF(Open Frame)適用 300mm 晶圓與 240×240mm 的吸盤。用於 AlTiC、GaAs、Si 等的階高・粗糙度・應力量測。