Tencor® P-17

P シリーズ第8世代の触針式プロファイラ。200mm スキャンステージでつなぎ合わせなしに全面を測る。

Tencor P-17とは

Tencor P-17 は、KLA の卓上型触針式段差計（スタイラスプロファイラ）です。45 年以上の表面計測の経験をもとにした第8世代の製品で、数 nm から 1mm までの段差を測れます。研究開発と生産の両方の環境で使われます。

2D と 3D の触針測定で、段差、粗さ、反り、応力を測り、スキャンはつなぎ合わせなしで最大 200mm です。UltraLite センサー、一定の力の制御、超平坦な走査ステージの組み合わせで高い測定安定性を得ています。

ポイント・アンド・クリックのステージ操作、上面・側面の光学系、光学ズーム付きの高解像度カメラでレシピを簡単に設定でき、パターン認識やシーケンス、特徴検出で全自動測定ができます。より大きな試料向けの P-17 OF（Open Frame）は 300mm ウェーハや 240×240mm のチャックに対応します。AlTiC、GaAs、Si などの段差・粗さ・応力計測に使われます。

主な特長

•数 nm〜1mm の段差測定
•2D／3D の段差・粗さ・反り・応力計測
•つなぎなしで最大 200mm のスキャン
•パターン認識による全自動測定

主な仕様

測定方式	触針式（UltraLite センサ）
測定範囲	200 mm スキャンステージ
測定項目	段差・表面粗さ・うねり・反り・薄膜応力
主要用途	Si・SiC・GaAs・サファイアウェーハの段差測定

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLATencor® P-17	ブルカー（Bruker）Dektak Pro	パークシステムズ（Park Systems）Park NX-Wafer
測定方式	触針式（UltraLite センサ）	触針式	原子間力顕微鏡（AFM・自動）
測定範囲	200 mm スキャンステージ	最大 200 mm の全面アクセス	200 ～ 300 mm ウェーハ（EFEM 搬送）
測定項目	段差・表面粗さ・うねり・反り・薄膜応力	膜厚段差・応力・表面粗さ・形状（再現性 4 Å 未満）	表面粗さ・CMP プロファイル・ベアウェーハ欠陥レビュー
主要用途	Si・SiC・GaAs・サファイアウェーハの段差測定	研究開発・工程開発・品質管理	ウェーハ工場の検査・解析