WetTemp 系列是科磊的原位（in situ）晶圓溫度量測系統。用於監控濕式清洗及其他濕式製程。有 300mm 與 200mm 的配置。
可用於許多單片式濕式清洗設備，有助於清洗設備的認證、清洗製程的最佳化與設備性能的改善。
65 個溫度感測器以同心圓狀均勻配置，可取得晶圓全面的詳細溫度分布。厚度 1.2mm 的配置可對應單片式濕式製程。
WetTemp 系列的特點與規格
科磊（KLA）・感測晶圓（附熱電偶晶圓）
量測單片式濕式清洗等濕式製程晶圓溫度的量測晶圓（15～140℃）。最多具備 65 個感測器。
產品概要
主要規格
| 量測範圍 | 15～140℃ |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 300／200 mm |
| 感測器 | 65 個（同心圓配置） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
支援濕式製程
以 65 個感測器量測全面
支援 300／200mm
主要用途
- 單片式清洗設備的認證
- 濕式製程的最佳化
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣總部（新竹縣竹北市）：台元科技園區，2025 年啟用新辦公室與訓練中心
- 各地據點（新竹・桃園・林口・台中・台南・高雄）：就近支援各科學園區的客戶