SBW シリーズとは
SBW シリーズは、コベルコ科研の平坦度・形状測定装置です。300mm ウェーハを対象に、厚さ、Bow／Warp（反り）、GBIR（TTV：全厚さばらつき）を測ります。
測定は静電容量方式で、ウェーハを真空吸着せずに自然な状態で保持したときの形状を測れます。Bow はウェーハ中央での参照面からの隔たり、Warp は中央面の参照面からのずれの最大値と最小値の差として定義されます。
ウェーハの抵抗のムラによる測定誤差をなくす RBC（Resistivity Bias Canceler）オプションを搭載できます。ウェーハ反転機構と SECS/GEM 準拠の通信機能もオプションで用意しています。ウェーハの形状精度を厳密に評価する品質管理に使われます。
主な特長
- •静電容量方式・非吸着での形状測定
- •厚さ・Bow／Warp・GBIR（TTV）
- •RBC オプションで抵抗ムラの誤差を解消
- •ウェーハ反転・SECS/GEM（オプション）
主な仕様
| 測定方式 | 非接触ラインスキャン |
|---|---|
| 測定項目 | Bow・Warp・GBIR（TTV）・SFQR |
| 対象工程 | スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュ後 |
| 主要用途 | ウェーハ形状の品質管理 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | コベルコ科研SBW シリーズ（平坦度・形状測定装置） | ナプソンNC-80MAP |
|---|---|---|
| 測定方式 | 非接触ラインスキャン | 非接触（渦電流法） |
| 測定項目 | Bow・Warp・GBIR（TTV）・SFQR | 抵抗率・シート抵抗（2D／3D マップ） |
| 対象工程 | スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュ後 | Si・SiC・GaN ウェーハ |
| 主要用途 | ウェーハ形状の品質管理 | 基板の抵抗率検査 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •300mm ウェーハの平坦度・反りの品質管理
掲載カテゴリ
SBW シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
コベルコ科研
神戸製鋼グループの分析・評価受託会社。半導体材料や薄膜の材料分析、故障解析、シミュレーション受託を行うほか、スパッタリングターゲット材の開発・供給も手掛ける。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06