MBM-3000 是 NuFlare Technology 的多束型光罩寫入機。藉由同時使用大量電子束在光罩上寫入圖案,提高寫入時間容易拉長的先進 EUV 光罩的生產力。
根據公開的發表資料,搭載 12nm 子束與強力陰極,實現 3.6A/cm² 的電子束電流密度,取得比前一代機型 MBM-2000PLUS 更高的解析度與更快的寫入速度。新的光學系統採用使電子束數量達 2 倍的次世代遮斷孔徑陣列(BAA)。
該公司的多束寫入機另有能高速・高精度控制超過 26 萬道電子束、對應 3nm+ 節點的 MBM-2000PLUS 與 MBM-2000,也備有可變成形束方式的 EBM 系列(EBM-9500PLUS 等)。