Alta 4700DP Mask Writer的特點與規格

Alta 4700DP 是應用材料的雷射式光罩寫入機。以高 NA 光學系統與 DUV 雷射形成銳利聚焦的光束，在二元光罩或相移光罩（PSM）上寫入電路圖案。

以多顆高速處理器運作、以軟體為基礎的新資料路徑，寫入速度比舊機型快 10～50%。並行進行圖案準備與寫入，減少量產中的等待時間。以改良的載台控制，也提高了光罩組之間的對位精度。

具備相移光罩用的第 2 層對準、提升寫入品質的多重寫入（關鍵層 4 道，其餘為高速 2 道），以及依圖案密度修正線寬誤差的功能。也標準搭載 SECS/GEM。