MaskTrack Smart BD 是 SUSS MicroTec 的光罩用自動烘烤・顯影系統。負責將以電子束等寫入的光罩光阻進行烘烤與顯影的製程，支援 32nm 以下的光罩製造。
可處理 200／300mm 的光罩格式，向下相容至 90nm 節點，並支援至半間距 1x nm 的解析度。以 25 區加熱板，在 90～130°C 範圍內精密維持光罩表面的溫度均勻性。
具備以聲流促進顯影液置換、提高 CD 均勻性的 ASONIC 技術、低衝擊的 A+ 噴嘴，以及使用即時 CD 資料的回饋。也支援乾式翻轉與低接觸光罩傳送、網路攝影機監控、SECS/GEM，並在 ISO 14644 Class 2 的環境中製造。