Sigmameltec SFD Mask Develop Series的特點與規格

Sigmameltec SFD 是應用材料的光罩用顯影設備。為維持經塗佈・曝光・烘烤所建立的 CD 均勻性，將顯影液均勻且同時供應至光罩全面。

將顯影與最終沖洗分為 2 個腔室，避免藥液混合。光罩在載液（濕潤）狀態下於腔室間傳送，防止中途乾燥產生缺陷。

以寬幅狹縫噴嘴均勻流出顯影液，並以回饋控制流量，提高 CD 線性度。使腔壁平滑並以 2 段高度處理，防止液體回濺。