Sigmameltec SFB Mask Bake Series的特點與規格

Sigmameltec SFB 是應用材料的光罩用烘烤設備。在使用化學增幅型光阻的光罩製造中，完成曝光所引發化學反應的曝光後烘烤（PEB）之溫度與時間，左右最終圖案尺寸。

SFB 在均勻的烘烤空間中設置周邊溫區，並以氣流微調。不只穩態溫度，連升溫與降溫的溫度・時間履歷，都設計成在光罩任一點上一致。

以 2 個烘烤模組可增加處理量，或對應 2 種烘烤溫度。迅速移至帕爾帖元件冷卻板以終止反應。也可與光罩寫入機線上連接，使曝光到烘烤的時間一致。