Sigmameltec CTS 是應用材料（原 Sigmameltec）的光罩用光阻塗佈設備。由於光罩的 CD 均勻性始於光阻塗佈品質，因此細緻管理空氣潔淨度・溫度・濕度、表面前處理、塗佈與旋轉，乃至塗佈後烘烤。
對光罩基板進行前處理以提高附著性，並細緻控制塗佈與旋轉程式，取得約 1nm（3σ）的塗佈均勻性。塗佈腔具有 3 種光阻用的手臂，也可追加。
具備以 CO₂ 水進行的噴射式超音波預清洗、172nm UV 處理、邊緣光阻去除、配備去除胺類濾網的 Class 1 腔體，以及自動溶劑沖洗。選配可進行 HMDS 處理，以及塗佈防止電子束寫入時帶電的導電層。