MaskTrack Smart BDとは
MaskTrack Smart BD は、SUSS MicroTec のフォトマスク用 自動ベーク・現像システムです。電子ビームなどで描画したマスクのレジストをベークし、現像する工程を担い、サブ 32nm のマスク製造に対応します。
200／300mm のフォトマスク形式を扱い、90nm ノードまでの後方互換を持ち、ハーフピッチ 1x nm までの解像度に対応します。25 ゾーンのホットプレートで、90〜130°C の範囲でマスク表面の温度均一性を精密に保ちます。
音響流で現像液の置換を促し CD 均一性を高める ASONIC テクノロジー、低衝撃の A+ ノズル、リアルタイムの CD データを使うフィードバックを備えます。ドライフリップや低接触のマスク搬送、Webカメラによる監視、SECS/GEM にも対応し、ISO 14644 Class 2 の環境で製造されています。
主な特長
- •25 ゾーンのホットプレート（90〜130°C）
- •ASONIC テクノロジー（音響流による現像液置換）
- •A+ ノズルの低衝撃ディスペンス
- •CD データのフィードバックループ
主な仕様
| 工程 | ベーク・現像 |
|---|---|
| 対応マスク | フォトマスク |
| 主要用途 | マスク描画後のレジスト現像 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •先端フォトマスクのレジストベーク・現像
掲載カテゴリ
MaskTrack Smart BDは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Suss MicroTec
ドイツを拠点とする半導体製造装置メーカー。ウェーハレベルパッケージングおよび先端リソグラフィ技術のスペシャリスト。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06