SME的特點與規格

SME 是愛發科（ULVAC）的濺鍍設備。可依核心形狀彈性搭載 1 腔至 7 腔的製程腔，具有高成本效益。

支援光電元件、封裝、MEMS・電子零件、功率元件、通訊元件等各種製程需求。可使用各用途專用的製程模組，進行基板加熱、同時成膜與旋轉成膜。

可傳送 Φ200mm 基板。4 角形核心的 SME-200E 最多 3 腔、6 角形的 SME-200J 最多 5 腔、8 角形的 SME-200 最多 7 腔濺鍍腔。