量產矽系絕緣膜・阻障膜的愛發科（ULVAC）托盤傳送式 PE-CVD。採用 27.12MHz 的高密度電漿。
目錄5 項
- 產品概要
- 主要規格
- 主要特點
- 製造商與在台據點
- 資料來源
產品概要
CME-200E 是愛發科（ULVAC）量產用 PE-CVD（電漿 CVD）設備 CME 系列中對應 200mm 見方基板的機型。這是用於量產矽系絕緣膜與阻障膜的設備，以托盤傳送方式可處理各種基板，成本效益優異。
對應 27.12MHz 的高密度電漿製程，可沉積 SiH₄ 系的 SiO₂、SiNx、SiON、a-Si，以及 TEOS 系的 SiO₂。腔體可用 NF₃＋Ar 電漿清潔。
系列中還有 300×400mm 見方的 CME-400E 與 500mm 見方的 CME-500E。用途為功率元件、LED・LD・高速元件、有機 EL、太陽能電池、MEMS 等化合物半導體與電子元件的量產線。
主要規格
| 對應基板 | 200 mm 見方（CME-400E 為 300×400 mm，CME-500E 為 500 mm 見方） |
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| 方式 | PE-CVD（27.12 MHz 高密度電漿、托盤傳送） |
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| 對象膜 | SiO₂・SiNx・SiON・a-Si・TEOS-SiO₂ |
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| 主要用途 | 功率元件・LED・LD・MEMS |
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規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
200mm 見方／300×400mm／500mm 見方的系列 主要用途
- 功率元件的絕緣膜・保護層（passivation）
- LED・LD・高速元件、MEMS