ei-5 與 EVD-600LP 是愛發科（ULVAC）的批次式蒸鍍設備。有研發到少量生產用的泛用機型 ei-5，以及針對剝離製程的量產機型 EVD-600LP。
是在基板上沉積金屬或氧化物的設備，以操作面板集中控制，可自動進行抽氣與沉積操作。可搭載 EB、電阻加熱、EB 與電阻組合等多種蒸發源，配方功能、資料記錄、保養輔助等功能可透過 PC 操作。
支援 Φ50～200mm 與矩形基板，以及 Si、化合物、玻璃、陶瓷等各種基板。EVD 改善了剝離性能，可搭載更多基板。用於功率元件等化合物半導體，以及 LED・LD・高速元件的電極形成。