CCMT-D 系列是愛發科（ULVAC）的電容式壓力計（隔膜真空計）。以陶瓷一體結構的隔膜量測壓力。
陶瓷膜耐腐蝕，並內建溫度補償電路。有量測範圍不同的 CCMT-1D／10D／100D／1000D，用於薄膜沉積設備與真空爐的壓力監控。
CCMT-D 系列的特點與規格
愛發科（ULVAC）・真空計・壓力控制器
以陶瓷一體結構隔膜量測壓力的愛發科（ULVAC）電容式壓力計。
產品概要
主要規格
| 量測方式 | 陶瓷電容式壓力計 |
|---|---|
| 量測範圍 | CCMT-1D ／10D／100D／1000D |
| 特點 | 陶瓷膜具耐腐蝕性・內建溫度補償電路 |
| 主要用途 | 薄膜沉積設備・真空爐的壓力監控 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
陶瓷一體結構隔膜
耐腐蝕・內建溫度補償電路
1D～1000D 的量程
主要用途
- 薄膜沉積設備・真空爐的壓力監控
製造商
愛發科（ULVAC）（總部：日本）