COMPANY DATABASE
SPPテクノロジーズ
住友精密工業から分社した装置メーカー。シリコン深掘りエッチング装置（DRIE）とプラズマCVD装置を主力とし、MEMS・パワーデバイス・TSV形成など高アスペクト比加工の用途に強い。
当サイトでの位置づけ
Semirai のエッチング・成膜カテゴリでは、MEMSやTSVで使われる深掘りエッチング（DRIE）を担う専業メーカーとして位置づけられます。ロジック向けの微細エッチングとは狙いが異なる装置群です。
企業の強み
シリコン深掘りエッチング（DRIE）の専業メーカー
MEMS・TSVなど高アスペクト比加工の実績
プラズマCVDと組み合わせたプロセス提案
主要製品・ソリューション
エッチング装置
- •シリコン深掘りエッチング装置（DRIE）
成膜装置
- •プラズマCVD装置
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、SPPテクノロジーズを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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