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最終更新 2026-10-22

圧電効果とは(ピエゾ効果)

Piezoelectric Effect
目次4項目
  1. 定義・解説
  2. 関連用語
  3. 比較・違いを学ぶ
  4. 出典・参考資料

定義・解説

圧電効果とは、ある種の結晶に力を加えると電圧が現れ、逆に電圧をかけると変形する性質のことです。力から電気が出るほうを正圧電効果、電気で動くほうを逆圧電効果と呼びます。結晶の中で正と負の電荷の重心がずれることで起こるため、対称性の高い結晶では現れません。

半導体の分野では、材料を薄膜にして微細加工と組み合わせる使い方が中心です。窒化アルミニウム(AlN)やPZTの薄膜をシリコン上に成膜し、加速度センサー、マイク、超音波の送受信素子、微小なアクチュエータとして作り込みます。MEMSが機械的な動きを扱えるのは、この効果を使った素子が多いためです。

最も身近な応用は、スマートフォンの高周波フィルタです。電気信号をいったん結晶の振動(弾性波)に変え、決まった周波数だけを通して電気に戻すSAWフィルタやBAWフィルタは、すべて圧電薄膜で作られています。通信の周波数帯が増えるほど必要なフィルタの数が増えるため、半導体に隣接する重要な部品分野になっています。

この用語を扱う職種

設計・デバイス開発センサーデバイス開発エンジニア

この技術が発表される学会

主要国際会議IEEE MEMS(MEMS国際会議)主要国際会議Transducers(固体センサ・アクチュエータ・マイクロシステム国際会議)専門の国際会議IUS(IEEE国際超音波シンポジウム)国内の学会セラミックス協会年会(日本セラミックス協会 年会)国内の学会セラミックス協会秋季シンポジウム(日本セラミックス協会 秋季シンポジウム)専門の国際会議PowerMEMS+(マイクロ電源システム・自立型センサ国際会議)国内の学会センサシンポジウム(「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム)国内の学会電子材料研究討論会(電子材料研究討論会)

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出典・参考資料

  1. 表面技術協会「圧電薄膜アクチュエータ(表面技術 68巻7号)」(2026/10/22 確認)