ウェハマウンタメーカー2社

ウェハマウンタ（ダイシングテープマウンタ）は、ダイシング工程前にウェハをダイシングフレーム（リングフレーム）に固定されたテープに貼り付ける装置です。ダイシング中の個片チップの飛散を防ぎ、精密な位置保持を実現します。UVテープを使用する場合、ダイシング後に紫外線照射でテープの粘着力を低下させてチップの剥離を容易にします。ウェハの薄型化（50μm以下）・大口径化（300mm）・反りへの対応など、先端プロセス向けの高精度ハンドリング要件に対応します。ダイシングソー・レーザーダイシング装置と連携し、後続のダイボンディング工程における品質基準に直接影響します。