HEPA/ULPAエアフィルタメーカー3社
HEPA/ULPAエアフィルタは、空気中の微粒子を捕集してクリーンルームの清浄度を作る中核部材です。HEPAは0.3μm粒子を99.97%以上、ULPAは0.1〜0.15μm粒子を99.9995%以上捕集する性能で規定されます。粒子は網目でふるい分けられるのではなく、繊維への衝突・さえぎり・拡散という複数の機構で捕らえられるため、最も捕集しにくい粒径（MPPS）が存在します。使用に伴い圧力損失が上がるため、差圧監視による交換時期の管理が運用の基本になります。
主要特徴
メーカー
3社の主要メーカー
1939年設立のエアフィルタ専業メーカーで、ダイキン工業が株主。粗じんフィルタから超高性能フィルタ・ケミカルフィルタまでのフィルタ製品に加え、エアシャワー・パスボックス・フィルタユニットなどのクリーンルーム機器、ガラス繊維製品を製造し、クリーンルームの環境診断も行う。
- •粗じんから超高性能・ケミカルまでのフィルタ品揃え
- •エアシャワー・パスボックスなど入口設備も自社供給
近藤工業と日本ケンブリッジフィルターが合併して発足した高性能フィルタメーカー。電子デバイス・医薬品・食品の製造工場や原子力関連施設向けに、エアフィルタとエアシャワー・パスボックスなどのクリーン機器を設計開発から製造・検査まで一括で手がける。
- •ケンブリッジブランドの高性能エアフィルタ
- •フィルタとクリーン機器の設計・製造・検査の一貫体制
空気と水のクリーン機器の専門メーカー。1965年に国産HEPAフィルタを開発し、1980年にULPAフィルタとスーパークリーンルーム用システム天井を超LSI工場向けに投入した。現在もULPA/HEPAフィルタ、ケミカルフィルタ、クリーンルーム用機器を製造販売する。
- •国産HEPAフィルタ開発以来のフィルタ技術
- •ULPAフィルタとクリーンルーム天井システムの実績
関連カテゴリ
アクセスフロア・床材は、クリーンルームの垂直層流を床下へ抜けさせ、同時に配管・配線を通すための床構造です。
メーカー 1 社エアシャワー・パスボックスエアシャワー・パスボックスは、人や物がクリーンルームへ入る際に付着した粒子を除去する入口設備です。
メーカー 5 社ケミカルフィルタ（AMC除去）ケミカルフィルタは、粒子ではなくガス状の汚染物質（AMC：気中分子汚染）を除去するフィルタです。
メーカー 4 社クリーンベンチクリーンベンチは、作業面のごく限られた空間だけを高清浄度に保つ局所クリーン装置です。
メーカー 3 社無塵衣・手袋類無塵衣・手袋類は、作業者から出る粒子をクリーンルーム内へ放出させないための着用資材です。
メーカー 4 社クリーンルーム計測・運転管理クリーンルーム計測・運転管理は、清浄度・温湿度・差圧・気流といった環境パラメータを常時測定し、基準内に保つための計測機器と管理の仕組みです。
メーカー 4 社什器・マット・洗濯機類什器・マット・洗濯機類は、クリーンルームで使う備品と、その清浄度を保つための周辺設備です。
メーカー 5 社FFU・ファンフィルタユニットFFU（ファンフィルタユニット）は、送風ファンとHEPA/ULPAフィルタを一体化し、天井面から清浄空気を吹き下ろすユニットです。
メーカー 4 社イオナイザ（静電気除去）イオナイザは、空気中に正負のイオンを供給して帯電した物体の静電気を中和する装置です。
メーカー 3 社