クリーンルーム計測・運転管理メーカー4社
クリーンルーム計測・運転管理は、清浄度・温湿度・差圧・気流といった環境パラメータを常時測定し、基準内に保つための計測機器と管理の仕組みです。パーティクルカウンタが粒子数を、AMCモニタが分子汚染を、差圧計が室間の圧力バランスを監視します。清浄度は徐々に悪化するため、異常が起きてから測るのでは遅く、常時監視して傾向で捉えることが前提になります。測定点の配置と警報しきい値の設計が、無用な警報と見逃しのバランスを決める実務上の要点です。
主要特徴
メーカー
4社の主要メーカー
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
- •分析・計測機器で国内大手
- •半導体プロセス向けガス分析に強み
分析・計測機器の国内大手メーカー。質量分析装置・表面分析装置・X線分析装置を中心に、半導体材料評価から医療機器まで幅広い分析技術を展開する。
- •分析・計測機器で国内トップクラス
- •質量分析・表面分析技術に強み
産業用計測・制御システムの国内大手メーカー。半導体ファブ向けにはプローバー関連装置やプロセス計測機器を含む幅広い計測・制御ソリューションを展開する。
- •産業計測・制御システムで国内大手
- •半導体ファブ向け計測機器を展開
水処理・超純水製造装置の国内大手メーカー。半導体ファブ向けの超純水（UPW）製造システムを中心に、排水処理まで一貫した水処理ソリューションを提供する。
- •超純水製造装置で国内トップクラス
- •半導体ファブ向け水処理インフラに強み
関連カテゴリ
アクセスフロア・床材は、クリーンルームの垂直層流を床下へ抜けさせ、同時に配管・配線を通すための床構造です。
メーカー 1 社HEPA/ULPAエアフィルタHEPA/ULPAエアフィルタは、空気中の微粒子を捕集してクリーンルームの清浄度を作る中核部材です。
メーカー 3 社エアシャワー・パスボックスエアシャワー・パスボックスは、人や物がクリーンルームへ入る際に付着した粒子を除去する入口設備です。
メーカー 5 社ケミカルフィルタ（AMC除去）ケミカルフィルタは、粒子ではなくガス状の汚染物質（AMC：気中分子汚染）を除去するフィルタです。
メーカー 4 社クリーンベンチクリーンベンチは、作業面のごく限られた空間だけを高清浄度に保つ局所クリーン装置です。
メーカー 3 社無塵衣・手袋類無塵衣・手袋類は、作業者から出る粒子をクリーンルーム内へ放出させないための着用資材です。
メーカー 4 社什器・マット・洗濯機類什器・マット・洗濯機類は、クリーンルームで使う備品と、その清浄度を保つための周辺設備です。
メーカー 5 社FFU・ファンフィルタユニットFFU（ファンフィルタユニット）は、送風ファンとHEPA/ULPAフィルタを一体化し、天井面から清浄空気を吹き下ろすユニットです。
メーカー 4 社イオナイザ（静電気除去）イオナイザは、空気中に正負のイオンを供給して帯電した物体の静電気を中和する装置です。
メーカー 3 社