DFM2800

バックグラインダとインライン接続して Φ300mm の極薄ウェーハを扱う全自動マルチファンクションウェーハマウンタ。ダイシングテープへの貼付と表面保護テープの剥離を行う。

DFM2800とは

DFM2800 は、ディスコのフルオートマチックマルチファンクションウェーハマウンターです。グラインダ／ポリッシャ DGP8761 で薄化したウェーハを、ダイシングテープやテープフレームに貼り付け、表面保護テープを剥がす工程を担い、バックグラインダとインラインでつないで使います。

Φ200mm と Φ300mm のウェーハに対応し、25µm 未満の極薄ウェーハも扱えます。フレームマウントの貼り付け精度は X/Y ±0.5mm 以下・θ ±0.5° 以下、ダイシングテープは X/Y ±1.0mm 以下です。次世代 SiP 製造向けに、ダイシングテープ一体型の DAF（ダイアタッチフィルム）にも対応します。

ウェーハのハンドリング工程を前機種 DFM2700 の 20% に減らして割れのリスクを抑え、各ハンドリングパッドとテーブルにクリーニング機構を設けてパーティクルによる割れも防ぎます。連続運転の最大スループットは約 50% 向上しました。DGP8761 と組み合わせると、グラインダ側からレシピ選択と運転を一元管理できます。

主な特長

•DGP8761 とのインライン運用（グラインダから一元管理）
•Φ200／300mm、25µm 未満の極薄ウェーハ
•ハンドリング工程を DFM2700 の 20% に削減
•最大スループット約 50% 向上、DAF 一体テープに対応

主な仕様

対応ウェハ径	300 mm
自動化	全自動（DGP8761 とインライン接続）
機能	ダイシングテープ貼付・保護テープ剥離・DAF 一体型テープ対応
主要用途	厚さ 25 µm 未満の極薄ウェーハのマウント

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	DISCODFM2800	リンテックAdwill RAD-2512F/12
対応ウェハ径	300 mm	300 mm
自動化	全自動（DGP8761 とインライン接続）	全自動
機能	ダイシングテープ貼付・保護テープ剥離・DAF 一体型テープ対応	真空プリカットテープ貼付・表面非接触マウント・裏面非接触搬送
主要用途	厚さ 25 µm 未満の極薄ウェーハのマウント	パワーデバイス・TSV ウェーハのダイシングテープ貼付