DMM9200とは
DMM9200 は、ディスコの MUSUBI 対応のウェーハマウンタで、DFM2800 の次世代機です。15µm 以下に薄くしたウェーハのフレームへのマウントから、表面保護テープの剥離までを自動化します。
装置内のクリーニング機能を強化し、パーティクルの挟み込みによるウェーハ割れを防ぎます。ダイシングテープの供給経路を最適化して、テープの交換時間を従来機より 85% 短縮しました。テープの自動交換やテープフレーム供給のオプションで停止時間をさらに減らせます。
複数の装置を連結するクラスターシステム「MUSUBI」に対応し、グラインダポリッシャとつないで、UV 照射、検査、マウント、表面保護テープの剥離までを一連で処理できます。
主な特長
- •15µm 以下の極薄ウェーハに対応
- •テープ交換時間 85% 短縮
- •MUSUBI 対応
主な仕様
| 対応ウェハ径 | Φ200／300 mm |
|---|---|
| 貼り付け精度 | X/Y ±0.5mm 以下・θ ±0.5° 以下 |
| 効果 | テープ交換時間 85% 短縮（従来機比） |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | DISCODFM2800 | DISCODMM9200 | リンテックAdwill RAD-2512F/12 |
|---|---|---|---|
| 対応ウェハ径 | 300 mm | Φ200／300 mm | 300 mm |
| 自動化 | 全自動（DGP8761 とインライン接続） | — | 全自動 |
| 機能 | ダイシングテープ貼付・保護テープ剥離・DAF 一体型テープ対応 | — | 真空プリカットテープ貼付・表面非接触マウント・裏面非接触搬送 |
| 主要用途 | 厚さ 25 µm 未満の極薄ウェーハのマウント | — | パワーデバイス・TSV ウェーハのダイシングテープ貼付 |
1機種だけが掲載している項目（2件）
| 貼り付け精度 | — | X/Y ±0.5mm 以下・θ ±0.5° 以下 | — |
|---|---|---|---|
| 効果 | — | テープ交換時間 85% 短縮（従来機比） | — |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •極薄ウェーハのフレームマウント
掲載カテゴリ
DMM9200は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
DISCO
「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工の完全ソリューションを提供。
ウェハマウンタのほかの製品
DISCOのほかの製品
DFD6362（ダイシングソー）DGP8761（バックグラインダー）DFP8140（研磨装置（ポリッシャー））DFL7362（ステルスダイシング）（レーザーダイシング装置）DFM2800（ウェハマウンタ）DAL7440（KABRA® レーザースライサー）（ワイヤソー・スライシング装置）ZH05（ハブブレード）（ダイシングブレード・マウンタ部品）NBC-Z シリーズ（ダイシングブレード・マウンタ部品）DFD6240（ダイシングソー）DFD6340（ダイシングソー）DFD6361（ダイシングソー）DFD6363（ダイシングソー）DFD6450（ダイシングソー）DFD6560（ダイシングソー）DFD6760（ダイシングソー）DAD3350（ダイシングソー）DAD3361（ダイシングソー）DAD3660（ダイシングソー）DFL7160（レーザーダイシング装置）DFL7262（レーザーダイシング装置）DFL7341（レーザーダイシング装置）DFL7362FH（レーザーダイシング装置）DFL7560L（レーザーダイシング装置）DFL7562（レーザーダイシング装置）DAW4110（ウォータジェットソー）（ダイシングソー）DAG810（バックグラインダー）DFG8340（バックグラインダー）DFG8360（バックグラインダー）DFG8540（バックグラインダー）DFG8560（バックグラインダー）DFG8830（バックグラインダー）DFP8160（研磨装置（ポリッシャー））DGP8762（バックグラインダー）DME8061（ドライエッチャ）（研磨装置（ポリッシャー））DAS8930（サーフェースプレーナ）（ウェハレベルパッケージング）DFS8960（サーフェースプレーナ）（ウェハレベルパッケージング）DIS100（インスペクションシステム）（最終テスト装置）DDS2300（ダイセパレータ）（レーザーダイシング装置）DDS2030（ダイセパレータ）（レーザーダイシング装置）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07