ストッカーメーカー2社
ストッカーは、ウェハやFOUPなどの一時保管・バッファリングを行う装置です。搬送システムと連携し、ライン全体のスループットと安定稼働を支えます。
主要特徴
よくある質問
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主要メーカーは？▾
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ダイフクClean Stocker CLS-50 | 村田機械（Muratec）クリーンストッカ CDS350-M3 | 村田機械（Muratec）ベアウエハストッカー CDWX |
|---|---|---|---|
| 保管対象 | FOUP（300 mm） | FOUP | ベアウエハ（専用セル） |
| 構成 | モジュール設計（横方向に増設可能） | デュアルクレーン対応・コンベヤによる多ポート構成 | セル単位のオンライン交換に対応 |
| 主要用途 | 前工程の工程間 FOUP 一時保管 | 工程間 FOUP 保管 | ウェーハの高密度保管 |
| 関連機種 | CLS-40（200 mm 用）／Clean Mini Stocker／ZFS（軌道脇・下の省スペース保管） | タワーストッカ TW3（フロア間搬送）／OHB（天井軌道下バッファ） | — |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 保管枚数 | — | — | 1,725 ～ 4,325 枚（最大 20,825 枚） |
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※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
| 保管対象 | FOUP（300 mm） |
| 構成 | モジュール設計（横方向に増設可能） |
| 関連機種 | CLS-40（200 mm 用）／Clean Mini Stocker／ZFS（軌道脇・下の省スペース保管） |
| 主要用途 | 前工程の工程間 FOUP 一時保管 |
| 保管対象 | FOUP |
| 構成 | デュアルクレーン対応・コンベヤによる多ポート構成 |
| 関連機種 | タワーストッカ TW3（フロア間搬送）／OHB（天井軌道下バッファ） |
| 主要用途 | 工程間 FOUP 保管 |
| 保管対象 | ベアウエハ（専用セル） |
| 構成 | セル単位のオンライン交換に対応 |
| 保管枚数 | 1,725 ～ 4,325 枚（最大 20,825 枚） |
| 主要用途 | ウェーハの高密度保管 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
2社の主要メーカー
半導体FAB向けAMHS（自動搬送システム）の世界的リーダー。OHT、Stockerなどのクリーンルーム搬送システムで24時間365日の高信頼性稼働を実現。
- •半導体FAB向けAMHSで世界トップシェア
- •24時間365日連続稼働の高信頼性システム
半導体ファブ向けAMHS（OHT・ストッカー）と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。
- •OHT（天井搬送システム）で世界トップクラスのシェア
- •ストッカー・自動倉庫との統合ソリューション
同じ分野の装置カテゴリ
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メーカー 2 社ウェハソーターウェハソーターは、複数のキャリア間でウェハを並べ替え・移し替える装置です。
メーカー 3 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
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メーカー 4 社