SEMICONDUCTOR EQUIPMENT

ストッカーメーカー2社

ストッカーは、ウェハやFOUPなどの一時保管・バッファリングを行う装置です。搬送システムと連携し、ライン全体のスループットと安定稼働を支えます。

メーカー 2 社関連カテゴリ 2 件

主要特徴

FOUP（ウェハキャリア）を自動で保管・管理する無人自動倉庫

AMHSと連携して工程間バッファとしてWIPの流れを平滑化

ミニストッカー（装置傍設置）と大型ストッカー（フロア中央）を組み合わせ

ロット優先順位・期限管理をMESと連動してリアルタイム制御

クリーンルーム対応の低パーティクル設計と防振構造が必須

よくある質問

ストッカーとAMHSはどう連携しますか？▾

AMHSコントローラ（AMHSC）がMESから搬送指示を受け、OHTがFOUPをストッカーに搬入・搬出します。ストッカー内ではロボットアームがFOUPを棚に格納・取り出しし、次工程の装置への搬送タイミングをMESが最適化します。

主要メーカーは？▾

Murata Machinery（村田機械、日）、Daifuku（大福、日）、Asyst Technologies（現Crossing Automation）などが主要メーカーです。ファブ規模に応じてカスタム設計されます。

代表製品・スペック

製品写真

ダイフク

Cleanroom Stocker CR500

ダイフクのクリーンルーム対応ウェハストッカー。FOUP保管・バッファリングを自動化し、生産ラインの平準化に貢献。

収容能力	最大 500 FOUP
クリーン度	クラス 1（ISO Class 3）
搬送ロボット	スカラロボット内蔵
通信規格	SEMI E87（キャリア管理）準拠
主要用途	前工程クリーンルームのFOUPバッファ・保管

ダイフクの企業情報を見る →

※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

メーカー

2社の主要メーカー

ダイフク日本

半導体FAB向けAMHS（自動搬送システム）の世界的リーダー。OHT、Stockerなどのクリーンルーム搬送システムで24時間365日の高信頼性稼働を実現。

搬送システム

OHT (天井搬送)Stocker (保管装置)

制御システム

MCS (制御ソフトウェア)

•半導体FAB向けAMHSで世界トップシェア
•24時間365日連続稼働の高信頼性システム

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村田機械（Muratec）日本

半導体ファブ向けAMHS（OHT・ストッカー）と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。

搬送・保管システム

OHTストッカー

実装関連装置

ダイボンダー

•OHT（天井搬送システム）で世界トップクラスのシェア
•ストッカー・自動倉庫との統合ソリューション

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比較・違いを学ぶ

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