HELIOT 900 シリーズ

主力 HELIOT 710 を全面更新したヘリウムリークディテクタ。排気速度を上げ、1 人で効率よく検査できる。

HELIOT 900 シリーズとは

HELIOT 900 シリーズは、アルバックのヘリウムリークディテクタです。ヘリウムをトレーサーガスに使い、真空装置や部品のわずかな漏れを検出します。

最小表示分解能は He ULTRA モード時に 0.01×10⁻¹² Pa･m³/sec で、わずかな漏れも見逃さない高感度設計です。ヘリウムの排気速度は 5L/sec で、補助ポンプにより 30〜500L/min の範囲に対応します。真空法とスニッファー法の両方に使えます。

ワイヤレスコントローラーで 40m 先から操作でき、保守パネルを簡単に外せるためメンテナンスも容易です。機種は、油回転ポンプ付きの 901W1（〜5L・ポータブル）と 904W2（〜50L・モバイル）、ドライポンプ付きの 901D2（〜5L）、904D3R（〜50L）、904D4R（〜200L）があります。

主な特長

•最小表示分解能 0.01×10⁻¹² Pa･m³/s
•真空法・スニッファー法の両対応
•ワイヤレスコントローラー（40m）
•油回転／ドライポンプの 5 機種

主な仕様

検出方式	ヘリウム（水素モード標準）
排気・構成	ヘリウム排気速度 5 L/s・油回転／スクロールドライ背圧ポンプ
主要用途	真空装置・部品の漏れ検査

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ULVAC（アルバック）HELIOT 900 シリーズ	Pfeiffer VacuumASM 340 シリーズ
検出方式	ヘリウム（水素モード標準）	ヘリウム（真空法・スニッフィング法）
排気・構成	ヘリウム排気速度 5 L/s・油回転／スクロールドライ背圧ポンプ	油回転またはダイヤフラム（ドライ）背圧ポンプ
主要用途	真空装置・部品の漏れ検査	半導体など清浄環境での漏れ検査