リークディテクタメーカー5社
リークディテクタは、真空系の漏れ箇所と漏れ量を検出する装置です。分子量が小さく大気中の存在量が少ないヘリウムをトレーサガスとして外側から吹き付け、内部へ透過してきた分をマススペクトロメータで検出するヘリウムリークディテクタが標準的な方式です。10⁻¹⁰Pa·m³/s級の微小漏れまで定量でき、装置の据付時・メンテナンス後の立ち上げ時間を大きく短縮します。半導体では有毒ガス配管の健全性確認にも使われ、安全管理の観点からも欠かせない測定器です。
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主要特徴
ヘリウムをトレーサガスに用いて漏れ箇所と漏れ量を検出する
マススペクトロメータで10⁻¹⁰Pa·m³/s級の微小漏れを定量できる
据付・メンテナンス後の立ち上げ時間を大きく短縮する
有毒ガス配管の健全性確認など安全管理にも使われる
メーカー
5社の主要メーカー
ULVAC（アルバック）日本
真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。
PVD装置
スパッタリングシステム蒸着装置
CVD装置
プラズマCVD熱CVD
真空ポンプ
ターボ分子ポンプドライポンプ
- •真空ポンプからプロセス装置まで一貫した垂直統合
- •スパッタリング装置で国内トップクラス
MKS Instruments米国
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
ガス制御機器
マスフローコントローラ圧力コントローラ
RF・プラズマ機器
RFジェネレータマッチングネットワーク
計測・光学
Newport光学部品レーザー光源
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
島津製作所日本
分析・計測機器の国内大手メーカー。質量分析装置・表面分析装置・X線分析装置を中心に、半導体材料評価から医療機器まで幅広い分析技術を展開する。
分析装置
質量分析装置表面分析装置X線分析装置
- •分析・計測機器で国内トップクラス
- •質量分析・表面分析技術に強み
Pfeiffer Vacuumドイツ
半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。
ターボ分子ポンプ
HiPace series
ドライ真空ポンプ
ACP seriesMVP series
真空計・リークディテクター
PKR/PPR series
- •ターボ分子ポンプで世界最大手クラス
- •クリーンドライポンプによる汚染防止
ライボルト（Leybold）ドイツ
170年以上の歴史を持つ真空技術メーカー。ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、真空計、リークディテクタまで真空系を一通り揃える。Atlas Copcoグループ。
真空ポンプ
ドライ真空ポンプターボ分子ポンプクライオポンプ
真空計測
真空計リークディテクタ
- •ドライ・ターボ・クライオの全方式を持つ
- •真空計とリークディテクタまで自社製