EP-300-Xとは
EP-300-X は、スピードファムの 300mm シリコンベアウェーハ向けエッジポリッシャです。ウェーハの外周（エッジ）を研磨して鏡面化し、エッジ部全体のダメージ領域を取り除きます。
ウェーハ外周のエッジに加えて、ノッチの内部やオリエンテーションフラットの直線部も、三面同時研磨で鏡面化します。高スループットの装置として位置づけられています。
エッジのダメージや欠けは、後工程でのパーティクル発生やウェーハ割れの原因になり、チップの歩留まりに影響します。スピードファムはシリコンウェーハ向けに 1988年から約 600 台のエッジポリッシャを出荷しており、450mm から小径までのラインアップを持ちます。
主な特長
- •三面同時研磨でエッジ・ノッチ・OF を鏡面化
- •エッジ部全体のダメージ領域を除去
- •高スループット
- •1988年から約 600 台の出荷実績
主な仕様
| 研磨方式 | パッド研磨（部位別の個別研磨） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 300 mm（EP-200-XW-II は 200 mm） |
| 関連機種 | EP-300-XW／EP450W（450 mm） |
| 主要用途 | シリコンウェーハのエッジ鏡面化 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | スピードファムEP-300-X | Mipoxウェハエッジポリッシャー |
|---|---|---|
| 研磨方式 | パッド研磨（部位別の個別研磨） | 研磨テープ（薬液不要） |
| 対応ウェハ径 | 300 mm（EP-200-XW-II は 200 mm） | 0.5 ～ 12 インチ（SiC 8 インチ仕様あり） |
| 関連機種 | EP-300-XW／EP450W（450 mm） | SiC 向けエッジ・ノッチ研磨仕様 |
| 主要用途 | シリコンウェーハのエッジ鏡面化 | エッジの膜除去・面取り形状の形成 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •300mm シリコンウェーハのエッジ研磨
掲載カテゴリ
EP-300-Xは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06