SR-4000HTとは
SR-4000HT は、大陽日酸（日本酸素ホールディングスグループ）の GaN 系 MOCVD 装置です。基板は 2 インチ×3 枚または 4 インチ×1 枚の構成で、研究開発や試作に使われます。
リアクターはフェイスアップ・横型フロー・回転式で、3 層の層流ノズル（トリプルインジェクション）からガスを供給します。2 ゾーンのヒーターで最高 1,350°C まで加熱でき、高い InGaN 成長温度や、Al 組成の高い AlGaN の成長が可能です。成長圧力は 10〜100kPa、有機金属ラインは 8、水素化物ラインは 2 です。
高い成長速度、柔軟な炭素バックグラウンド濃度の制御、優れた温度制御と均一性を特長とし、HEMT、PN ダイオード、レーザー、RGB から UV までの LED に使われます。キャビネット 4 台の SR4000HT と、3 台の SR4000HT-RR があります。
主な特長
- •2 インチ×3 枚／4 インチ×1 枚
- •2 ゾーンヒーターで最高 1,350°C
- •高 Al 組成 AlGaN・高温 InGaN の成長
- •フェイスアップ横型フロー（トリプルインジェクション）
主な仕様
| 対応材料 | AlN・AlGaN などワイドバンドギャップ材料 |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 4 インチ × 1 枚／2 インチ × 3 枚（SR4000） |
| 特徴 | 研究開発向け SR シリーズ（量産は UR シリーズ） |
| 主要用途 | パワーエレクトロニクス材料の研究開発 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | AIXTRONG10-GaN | Veeco InstrumentsPropel® GaN MOCVD | 大陽日酸（Taiyo Nippon Sanso）SR-4000HT |
|---|---|---|---|
| 対応材料 | GaN | GaN | AlN・AlGaN などワイドバンドギャップ材料 |
| 対応ウェハ径 | 150 mm／200 mm | 200 mm | 4 インチ × 1 枚／2 インチ × 3 枚（SR4000） |
| 特徴 | 3 チャンバーのコンパクトなクラスター、50 枚のカセット搬送、全自動 | 関連機種 Lumina（As/P 系・TurboDisc 技術） | 研究開発向け SR シリーズ（量産は UR シリーズ） |
| 主要用途 | GaN パワー・RF デバイス | GaN パワー・5G RF・フォトニクス | パワーエレクトロニクス材料の研究開発 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •GaN HEMT・PN ダイオード
- •レーザー・RGB〜UV LED
掲載カテゴリ
SR-4000HTは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
大陽日酸（Taiyo Nippon Sanso）
日本最大の産業ガスメーカー（三菱ケミカルグループ傘下）。半導体向け超高純度特殊ガス（SiH₄・HF・BF₃・Cl₂等）・超純液体窒素・液体ヘリウムを供給。世界20カ国以上に特殊ガス製造・供給拠点を持つ。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06