Prexa™

Precio の技術を受け継いだ TEL の次世代 300mm 全自動ウェーハプローバ。エラーアシストの削減と自動化を進めた。

Prexaとは

Prexa は、東京エレクトロン（TEL）の新しいプラットフォームで開発された次世代の 300mm 対応全自動ウェーハプローバです。

微細化に加えて 3 次元積層や、複数・異種のデバイスを組み合わせた先端パッケージが進み、ウェーハテストでの KGD（良品が保証されたチップ）の確保が重要になっています。Prexa は Precio シリーズの多くの技術を受け継ぎつつ、エラーアシストの削減や自動化機能の拡充で、さらに高い生産性を実現します。

最新鋭の光学系と新しいアルゴリズムで精度の高いコンタクトを実現し、セットアップなどの操作を自動化します。プローブカードの針先やプローブ痕を高速に検査する機能も持ちます。リニアモーターのステージを使っています。

主な特長

•最新鋭の光学系と新アルゴリズム
•操作の自動化
•針先・プローブ痕の高速検査
•リニアモーターステージ

主な仕様

対応ウェハ径	300 mm（200 mm はオプション）
XY 精度	±1.8µm（200mm オプション時 ±1.5µm）
プロービング荷重	300 kg（オプション 450 kg）

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	東京エレクトロン（TEL）Precio™ XL（ウェーハプローバ）	東京エレクトロン（TEL）Prexa™	東京エレクトロン（TEL）Prexa™ MS	東京エレクトロン（TEL）Cellcia™	東京エレクトロン（TEL）WDF™ 12DP+	東京エレクトロン（TEL）Precio octo™	東京精密（Accretech）UF3000EX-e（ウェーハプローバ）	アドバンテストHA1200（ダイレベルプローバ）
対応ウェハ径	200／300 mm	300 mm（200 mm はオプション）	300 mm（200 mm はオプション）	300 mm	—	150／200 mm	200 ～ 300 mm（特殊ウェーハ含む）	—
XY 精度	—	±1.8µm（200mm オプション時 ±1.5µm）	±0.8µm	—	±1.8µm	±2.0µm	—	—
方式	全自動ウェーハプローバ（リニアモーター）	—	—	—	—	—	全自動ウェーハプローバ	個片ダイへの高精度自動プロービング
主な機能	TELPADS-I（高速針痕検査）・Auto Leveling・CoSMOz	—	—	—	—	—	OTS（光学式ターゲットスコープ）・15 インチタッチパネル	—
プロービング荷重	—	300 kg（オプション 450 kg）	600 kg（オプション 1,000 kg）	—	—	—	—	—
主要用途	—	—	—	メモリ・ウェーハレベルバーンイン	—	—	ウェーハテスト（プローブテスト）	—
対象	—	—	—	—	200／300mm ウェーハ・300mm ダイシングフレーム	—	—	チップレットを使うハイエンド SoC

1機種だけが掲載している項目（5件）

精度	XY ±1.8 µm・Z ±5.0 µm	—	—	—	—	—	—	—
セル数	—	—	—	12 または 25	—	—	—	—
機能	—	—	—	—	N-Shot アライメント（ダイシング前後）	—	—	—
オプション	—	—	—	—	—	超高速針痕自動検査 TELPADS-I	—	—
温度制御	—	—	—	—	—	—	—	テスタ連動の ATC（Active Thermal Control）