Cellcia™

多段マルチセル構造で、各セルが独立して 300mm ウェーハを一括テストする TEL の次世代テストプラットフォーム。

Cellciaとは

Cellcia は、東京エレクトロン（TEL）の 300mm ウェーハ対応の次世代ウェーハ一括テストプラットフォームです。多段のマルチセル構造を持ち、各セルが完全に独立して同時にウェーハをテストするため、ロットを高速に処理できます。

メモリのウェーハテストでは、コスト削減のために同時多数測定が積極的に取り入れられ、300mm ウェーハを一括コンタクトでテストする技術も確立されています。Cellcia はロットを複数のセルに分けて処理時間を短くし、多段積みで設置面積を大きく減らして、単位面積あたりのテスト効率を飛躍的に高めました。

従来のプローバの技術に加え、新しいステージ、プローブカード、コンタクター、テスターの技術と、前工程装置で培った技術を導入しています。セル数は 12 または 25 で、メモリやウェーハレベルバーンインに使われます。

主な特長

•多段マルチセル構造
•各セルが独立して同時テスト
•設置面積を大幅削減
•12／25 セル

主な仕様

対応ウェハ径	300 mm
セル数	12 または 25
主要用途	メモリ・ウェーハレベルバーンイン

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	東京エレクトロン（TEL）Precio™ XL（ウェーハプローバ）	東京エレクトロン（TEL）Prexa™	東京エレクトロン（TEL）Prexa™ MS	東京エレクトロン（TEL）Cellcia™	東京エレクトロン（TEL）WDF™ 12DP+	東京エレクトロン（TEL）Precio octo™	東京精密（Accretech）UF3000EX-e（ウェーハプローバ）	アドバンテストHA1200（ダイレベルプローバ）
対応ウェハ径	200／300 mm	300 mm（200 mm はオプション）	300 mm（200 mm はオプション）	300 mm	—	150／200 mm	200 ～ 300 mm（特殊ウェーハ含む）	—
XY 精度	—	±1.8µm（200mm オプション時 ±1.5µm）	±0.8µm	—	±1.8µm	±2.0µm	—	—
方式	全自動ウェーハプローバ（リニアモーター）	—	—	—	—	—	全自動ウェーハプローバ	個片ダイへの高精度自動プロービング
主な機能	TELPADS-I（高速針痕検査）・Auto Leveling・CoSMOz	—	—	—	—	—	OTS（光学式ターゲットスコープ）・15 インチタッチパネル	—
プロービング荷重	—	300 kg（オプション 450 kg）	600 kg（オプション 1,000 kg）	—	—	—	—	—
主要用途	—	—	—	メモリ・ウェーハレベルバーンイン	—	—	ウェーハテスト（プローブテスト）	—
対象	—	—	—	—	200／300mm ウェーハ・300mm ダイシングフレーム	—	—	チップレットを使うハイエンド SoC

1機種だけが掲載している項目（5件）

精度	XY ±1.8 µm・Z ±5.0 µm	—	—	—	—	—	—	—
セル数	—	—	—	12 または 25	—	—	—	—
機能	—	—	—	—	N-Shot アライメント（ダイシング前後）	—	—	—
オプション	—	—	—	—	—	超高速針痕自動検査 TELPADS-I	—	—
温度制御	—	—	—	—	—	—	—	テスタ連動の ATC（Active Thermal Control）