Precio™ XL（ウェーハプローバ）

リニアモーターを採用した東京エレクトロンの 200／300mm 全自動ウェーハプローバ。高速針痕検査やプローブカード平行度の自動調整を備える。

Precio XLとは

Precio XL は、東京エレクトロンの 200mm／300mm 対応全自動ウェーハプローバです。ウェーハテスト（プローブテスト）で、ウェーハ上のチップの電極にプローブカードの針を接触させ、テスタと電気的につなぐ装置です。

リニアモーターを採用し、高い生産性、コンタクト性能、クリーン度の改善、短納期対応を実現しています。XY 精度は ±1.8µm、Z 精度は ±5.0µm で、200kg／300kg（オプション）の荷重に対応します。

高速の針痕検査 TELPADS-I、プローブカードの平行度を自動調整する Auto Leveling、多彩な Z 軸制御機能、最適なコンタクトシーケンスを算出する CoSMOz ソフトウェアを備え、パラメータの互換性も確保しています。シリーズには 8 インチ向けの Precio octo、プローバネットワークシステム PN-300 もあります。

主な特長

•200／300mm 全自動、リニアモーター採用
•XY ±1.8µm・Z ±5.0µm
•TELPADS-I（高速針痕検査）・Auto Leveling
•CoSMOz による最適コンタクトシーケンス

主な仕様

対応ウェハ径	200／300 mm
方式	全自動ウェーハプローバ（リニアモーター）
精度	XY ±1.8 µm・Z ±5.0 µm
主な機能	TELPADS-I（高速針痕検査）・Auto Leveling・CoSMOz

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	東京エレクトロン（TEL）Precio™ XL（ウェーハプローバ）	東京精密（Accretech）UF3000EX-e（ウェーハプローバ）
対応ウェハ径	200／300 mm	200 ～ 300 mm（特殊ウェーハ含む）
方式	全自動ウェーハプローバ（リニアモーター）	全自動ウェーハプローバ
主な機能	TELPADS-I（高速針痕検査）・Auto Leveling・CoSMOz	OTS（光学式ターゲットスコープ）・15 インチタッチパネル