安川電機
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
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当サイトでの位置づけ
Semirai の装置部品カテゴリでは、真空・大気中でウェハを動かすクリーンロボットの主要サプライヤとして位置づけられます。搬送速度とパーティクル発生の両立が問われる部分です。
企業の強み
サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
大気用・真空用の双方のクリーンロボット
モーション制御まで含めた一体設計
主要製品・ソリューション
クリーンロボット
- •ウェハ搬送ロボット
- •真空搬送ロボット
駆動機器
- •ACサーボモータ
- •インバータ
安川電機の製品
関連装置カテゴリ
ウェハ搬送装置
ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社ウェハキャリア・FOUP・EFEMウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。
メーカー 9 社装置部品・サブシステム装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。
メーカー 15 社半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、安川電機を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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