COMPANY DATABASE
安川電機
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
当サイトでの位置づけ
Semirai の装置部品カテゴリでは、真空・大気中でウェハを動かすクリーンロボットの主要サプライヤとして位置づけられます。搬送速度とパーティクル発生の両立が問われる部分です。
企業の強み
サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
大気用・真空用の双方のクリーンロボット
モーション制御まで含めた一体設計
主要製品・ソリューション
クリーンロボット
- •ウェハ搬送ロボット
- •真空搬送ロボット
駆動機器
- •ACサーボモータ
- •インバータ
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、安川電機を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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