装置総合効率（OEE）計算ツール
最終更新：2026-09-26
要点
OEE は「運用時間のうち、理論上の速さで良品を作っていた時間の割合」で、可用性効率 × 稼働効率 × 速度効率 × 品質効率 で求まります。半導体前工程の装置では40〜70%程度に収まることが多く、ボトルネック装置では待機時間、洗浄・成膜装置ではメンテナンスと故障停止の削減が効きます。
入力（期間中の時間区分と処理数）
OEE（総合効率）61.5%
可用性効率（アップタイム率）91.7%
稼働効率（生産時間 / アップタイム）84.4%
速度効率80.1%
品質効率99.20%
実効スループット（運用時間あたり）73.8枚/時
MTBF（生産時間ベース）43.3時間
MTTR2.00時間
時間区分は SEMI E10 の考え方に沿った簡略版です。実際の工場では装置の状態をMESや装置ログから自動で分類し、チャンバーごと（マルチチャンバー装置）に集計することもあります。
ロスの内訳（理論処理時間に換算）
| ロスの種類 | 時間 | 運用時間に対する割合 |
|---|---|---|
| 計画停止（PM・保守） | 8.0 時間 | 4.8 % |
| 故障停止 | 6.0 時間 | 3.6 % |
| エンジニアリング | 4.0 時間 | 2.4 % |
| 待機（仕掛かり待ち・オペレータ待ち） | 20.0 時間 | 11.9 % |
| 速度ロス（理論スループットとの差） | 25.8 時間 | 15.4 % |
| 品質ロス（不良・再処理） | 0.8 時間 | 0.5 % |
装置の OEE を上げる順番
OEE は「運用時間のうち、理論上の速さで良品を作っていた時間の割合」を表します。半導体工場の前工程装置では、OEE は 40〜70% 程度に収まることが多く、ロスの内訳は装置の種類で大きく変わります。露光装置のように高価なボトルネック装置は待機時間をなくすことが最優先で、洗浄・成膜装置はメンテナンス時間と故障停止の削減が効きます。
待機時間は装置そのものではなく、前後の工程や搬送（AMHS）、ロット投入の計画で決まるロスです。OEE を装置単体の性能指標としてだけ見ると、改善の優先順位を誤ります。故障の傾向は MTBF と MTTR に分けて追い、予知保全で故障停止を計画停止に置き換えていくのが典型的な改善の進め方です。