量測・檢測工程師是做什麼的
量測・檢測工程師負責建立量測與缺陷檢測的條件,維持量測數據的可信度。晶圓廠所有的製程判斷都建立在量測數據上,量測不準,製程與良率的判斷就會出錯。
主要工作內容
建立膜厚、線寬(CD)、疊對等量測程式與取樣計畫
設定缺陷檢測的靈敏度,在漏檢與誤報之間取得平衡
定期校正量測設備,比對不同機台之間的差異
導入新的量測與檢測技術,對應更先進的製程
提供良率與製程單位分析所需的資料
所需科系與技能
- 物理、光電、材料、電機等科系
- 光學、電子束等量測原理的理解
- 統計與量測系統分析(重複性・再現性)
- 影像與資料分析能力
工作成果的衡量方式
- 量測的重複性與機台間一致性
- 缺陷的捕捉率與誤報率
- 量測產能與週期時間
職涯發展的方向
- 良率工程師
- 檢測・量測設備商的應用工程師
- 製程開發
量測・檢測工程師的常見問題
量測和檢測有什麼不同?
量測(Metrology)是測量數值,例如膜厚、線寬、疊對誤差;檢測(Inspection)是找出缺陷,例如微粒、圖形缺損。兩者使用的設備與分析方法不同。
量測工程師常用哪些設備?
常見的有關鍵尺寸電子顯微鏡(CD-SEM)、光學關鍵尺寸量測(OCD)、膜厚量測、疊對量測,以及光學與電子束缺陷檢測設備。
經常接觸的設備
工作中常用的用語
主要任職企業
經常合作的職務
晶圓廠(前段製程)的其他職務
同一個職稱在不同公司負責的範圍可能不同,實際工作內容請以各公司的職缺說明為準。