最後更新:2026年10月13日晶圓廠(前段製程)

量測・檢測工程師是做什麼的

量測・檢測工程師負責建立量測與缺陷檢測的條件,維持量測數據的可信度。晶圓廠所有的製程判斷都建立在量測數據上,量測不準,製程與良率的判斷就會出錯。

目錄7 項
  1. 工作內容
  2. 所需科系與技能
  3. 工作成果的衡量
  4. 常見問題
  5. 經常接觸的設備
  6. 相關用語
  7. 主要任職企業

主要工作內容

建立膜厚、線寬(CD)、疊對等量測程式與取樣計畫
設定缺陷檢測的靈敏度,在漏檢與誤報之間取得平衡
定期校正量測設備,比對不同機台之間的差異
導入新的量測與檢測技術,對應更先進的製程
提供良率與製程單位分析所需的資料

所需科系與技能

  • 物理、光電、材料、電機等科系
  • 光學、電子束等量測原理的理解
  • 統計與量測系統分析(重複性・再現性)
  • 影像與資料分析能力

工作成果的衡量方式

  • 量測的重複性與機台間一致性
  • 缺陷的捕捉率與誤報率
  • 量測產能與週期時間

職涯發展的方向

  • 良率工程師
  • 檢測・量測設備商的應用工程師
  • 製程開發

量測・檢測工程師的常見問題

量測和檢測有什麼不同?
量測(Metrology)是測量數值,例如膜厚、線寬、疊對誤差;檢測(Inspection)是找出缺陷,例如微粒、圖形缺損。兩者使用的設備與分析方法不同。
量測工程師常用哪些設備?
常見的有關鍵尺寸電子顯微鏡(CD-SEM)、光學關鍵尺寸量測(OCD)、膜厚量測、疊對量測,以及光學與電子束缺陷檢測設備。

經常接觸的設備

工作中常用的用語

主要任職企業

經常合作的職務

晶圓廠(前段製程)的其他職務

同一個職稱在不同公司負責的範圍可能不同,實際工作內容請以各公司的職缺說明為準。