抽樣檢驗(Sampling Inspection)是從一批產品(批次)中抽取若干試樣進行檢驗,再依結果判定整批為合格或不合格的檢驗方法。相較於檢驗所有產品的全數檢驗,能大幅減少檢驗的人力與費用。對於檢驗會破壞產品的破壞性檢驗,或數量非常多的產品特別有效。
在抽樣檢驗中,依事先決定的計畫(抽樣方案),按批量大小決定抽取數量,以及不良數在多少以內可判定合格(允收數)。代表性的是以判定合格的品質水準(AQL:允收品質水準)為基準的方式,以表格規範於國際標準ISO 2859及日本的JIS Z 9015中。抽樣必然伴隨將好批次誤判為不合格的風險(生產者風險),以及將壞批次誤判為合格的風險(消費者風險),並以表示各批次品質對應合格機率的OC曲線評估方案的性能。
在半導體中,抽樣的概念用於各種場合。零件或材料的進料檢驗、出貨前的品質確認,以及在製造線的線上量測中從批次量測數片晶圓或晶圓內數點,都屬於抽樣的一種。在可靠度試驗中,為了以一定信賴度保證規定的故障率,會以統計方式決定要以多少個試樣測試多少小時、故障在幾個以下才算合格。不過,抽樣檢驗並不能保證合格批次中沒有不良品,因此對於需將不良率壓在ppm等級的產品,會搭配全數的電性測試或篩選來保證品質。