最後更新:2026年10月13日晶圓廠(前段製程)

廠務工程師是做什麼的

廠務工程師負責維持無塵室、超純水、氣體、化學品與電力等廠務系統的穩定供應。晶圓廠的機台全部仰賴廠務系統運轉,廠務一旦中斷,整座工廠都會停擺。

目錄7 項
  1. 工作內容
  2. 所需科系與技能
  3. 工作成果的衡量
  4. 常見問題
  5. 經常接觸的設備
  6. 相關用語
  7. 主要任職企業

主要工作內容

管理無塵室的溫濕度、潔淨度與氣流
維持超純水、製程氣體、化學品的供應品質與壓力
管理電力、不斷電系統與緊急應變
規劃新廠與擴廠的廠務系統,參與機台的二次配(Hook-up)
推動節能、節水與廢水回收

所需科系與技能

  • 機械、電機、化工、環工、冷凍空調等科系
  • 空調、配管、電力、水處理等系統知識
  • 工程專案管理與施工協調能力
  • 相關法規與安全規範的理解

工作成果的衡量方式

  • 廠務系統的供應穩定度
  • 能源與水的使用效率
  • 擴廠工程的時程

職涯發展的方向

  • 新廠建置專案管理
  • 工安環保工程師
  • 廠務設備與工程公司

廠務工程師的常見問題

廠務工程師需要進無塵室嗎?
需要。除了機房與中央系統,廠務工程師也要進入無塵室處理氣體、化學品與排氣的末端配管,以及機台的二次配工程。
廠務分成哪些系統?
常見的分類有空調與無塵室、水(超純水・廢水)、氣體、化學品、電力,以及排氣與尾氣處理等。

經常接觸的設備

工作中常用的用語

主要任職企業

經常合作的職務

晶圓廠(前段製程)的其他職務

同一個職稱在不同公司負責的範圍可能不同,實際工作內容請以各公司的職缺說明為準。