最後更新:2026年10月13日晶圓廠(前段製程)

製程工程師是做什麼的(PE)

製程工程師(PE)負責晶圓廠中單一製程站點的條件設定與日常監控,例如蝕刻、薄膜沉積、微影或清洗。目標是讓每一片晶圓都在規格內完成加工,並在異常發生時迅速找出原因。

目錄7 項
  1. 工作內容
  2. 所需科系與技能
  3. 工作成果的衡量
  4. 常見問題
  5. 經常接觸的設備
  6. 相關用語
  7. 主要任職企業

主要工作內容

設定與維護製程配方(Recipe),讓膜厚、線寬、蝕刻深度等結果落在規格內
以統計製程管制(SPC)監控每天的量測數據,發現偏移時判斷是否停機
處理製程異常:隔離受影響的晶圓、找出原因並提出對策
評估新材料、新設備或新條件,配合製程整合工程師導入新製程
與設備工程師一起規劃保養後的復機驗證

所需科系與技能

  • 化工、材料、電機、物理等理工科系背景
  • 對電漿、化學反應、薄膜成長等物理化學原理的理解
  • 統計與實驗設計(DOE)的基本能力
  • 能在輪班或待命制度下處理突發狀況

工作成果的衡量方式

  • 製程能力指標與規格內比例
  • 異常造成的報廢片數
  • 製程變更導入的時程

職涯發展的方向

  • 製程整合工程師
  • 良率工程師
  • 設備商的應用工程師
  • 研發部門的製程開發

製程工程師的常見問題

製程工程師和設備工程師有什麼不同?
製程工程師負責「加工條件與結果」,設備工程師負責「機台本身的狀態」。機台故障由設備工程師修復,修好之後製程結果是否回到規格,則由製程工程師確認。兩者在同一站點緊密合作。
製程工程師需要輪班嗎?
晶圓廠 24 小時運轉,製程工程師多數採輪班或待命制度,處理夜間與假日發生的異常。具體制度依公司與部門而不同。
製程工程師依站點分成哪些?
常見的分法有微影、蝕刻、薄膜(CVD・PVD・ALD)、擴散與離子植入、化學機械研磨、濕式清洗等,每個站點使用的設備與需要的知識不同。

經常接觸的設備

工作中常用的用語

製程用語表

主要任職企業

經常合作的職務

晶圓廠(前段製程)的其他職務

同一個職稱在不同公司負責的範圍可能不同,實際工作內容請以各公司的職缺說明為準。