銻(Antimony,元素符號Sb)是原子序51的15族(5族)元素,在矽中作為形成n型半導體的施體(n型摻雜物)使用。與磷、砷同為施體,但原子更重(原子量約122),特點是在矽中擴散非常慢。
活用這種慢擴散特性的代表性用途,是磊晶晶圓的低電阻n型基板(n⁺基板)。在功率MOSFET等使用的n/n⁺結構磊晶晶圓中,若在成長磊晶層的高溫製程中雜質從基板滲出,磊晶層的電阻就會偏離設定值。擴散慢的銻較少發生這種滲出(自動摻雜或外擴散),因此被用作基板的摻雜物。不過,銻在矽中可溶入的量(固溶度)小,加入銻的基板電阻率下限約為0.01Ω·cm,需要更低電阻時則使用加入砷或紅磷的基板。銻過去也用於雙極性電晶體與BiCMOS的埋入層(n⁺埋入層)。
銻也是化合物半導體的構成元素,InSb(銻化銦)用於紅外線感測器,GaSb則用於紅外線元件的基板。在相變化記憶體中,Ge₂Sb₂Te₅(GST)等含銻合金是記錄材料;在無鉛焊料中,也用於高溫用的Sn-Sb系合金。銻的生產集中於中國,2024年中國將其列為出口管制對象後,其作為關鍵礦物的供應風險受到關注。