最後更新:2026年10月8日CMP・平坦化CMP・平坦化中國大陸:布轮抛光

布輪研磨(Buff 研磨)是什麼

Buff Polishing

布輪研磨是在布、毛氈等柔軟的研磨材(布輪)上沾附研磨劑並使其旋轉,藉此研磨表面,加工成平滑而有光澤之表面的方法。在半導體領域,指的是 CMP 主研磨之後去除細微刮傷與附著微粒的精修研磨,或真空腔體、配管等設備零組件的內面精修。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

布輪研磨是在布、毛氈、不織布等柔軟的研磨材(布輪)上沾附研磨劑並使其旋轉,將表面壓抵其上研磨,加工成平滑而有光澤之表面的研磨方法。廣泛用於金屬零件的鏡面精修;在半導體領域,指的是 CMP 之後去除表面細微刮痕與殘留異物的精修研磨,或設備零組件的表面精修。

一般的布輪研磨,是從粗的研磨劑逐步換成細的研磨劑進行研磨。與用砂輪切削的研削(grinding)不同,布輪質地柔軟,能順著工件形狀貼合,目的是磨平表面細微的凹凸以產生光澤。比起精密做出尺寸與平坦度,更適合用來降低表面粗糙度。

在半導體的 CMP 設備中,有時會在主研磨之後設置一道以柔軟的研磨墊搭配研磨力較弱的研磨液或藥液、只短時間研磨的「布輪研磨(Buff 處理)」步驟。其目的是去除主研磨造成的細微刮傷與附著在表面的研磨液粒子,並幫助後續清洗將其去除,屬於精修研磨(final polish)的一種。

在設備零組件領域,會對真空腔體、配管以及流通藥液的零件內面進行布輪研磨,使表面平滑,成為微粒不易堆積、也不易釋放氣體的表面。在需要更高平滑度與潔淨度的超高純度氣體配管等用途,則會在布輪研磨之後進行電解研磨(EP),使表面更加平滑並形成鈍化膜。

此外,矽晶圓的製造也會在以研磨(lapping,遊離磨粒研磨)整平後,再以雙面研磨或單面鏡面研磨進行精修,但這些一般稱為鏡面研磨(polishing),與布輪研磨有所區別。

布輪研磨(Buff 研磨)的常見問題

布輪研磨與 CMP 有什麼不同?
CMP 是結合藥液的化學反應與研磨粒子的機械作用,將晶圓表面精密平坦化的加工。布輪研磨則是用柔軟的研磨材磨平表面細微凹凸、使其平滑的精修方法,並不以做出平坦度為目的。在 CMP 設備中,主研磨之後的短時間精修步驟有時也稱為布輪研磨。
布輪研磨與電解研磨如何區分使用?
布輪研磨是以機械方式研磨使表面平滑的方法,電解研磨則是以電化學方式溶解表面凸起部分使其平滑的方法。在半導體用高純度氣體配管等用途中,會依序組合使用:先以布輪研磨降低粗糙度,再以電解研磨進一步平滑,加工成不易附著髒污與氣體的潔淨表面。

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