拋光機（Polisher）是什麼

拋光機（Polisher）是使用研磨墊與研磨液精密研磨晶圓背面，降低表面粗糙度並提升平坦性的設備。去除晶背研磨後的微小損傷層、改善表面品質，以提高晶圓強度並降低裂痕發生的風險。鏡面加工也能提升後段製程中的接著性與散熱特性。可應用 CMP（化學機械研磨）技術進行高精度加工。

重點整理

以研磨墊・研磨液降低表面粗糙度並提升平坦性
去除晶背研磨後的微小損傷層
提高晶圓強度並降低裂痕發生風險
鏡面加工提升接著性・散熱特性
應用 CMP 技術實現高精度加工

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