科林研發(Lam Research)
美國的半導體設備大廠,以電漿蝕刻設備為核心,並供應薄膜沉積與晶圓清洗設備。在新竹設有技術訓練中心,在桃園中壢設有製造子公司。
Lam Research・半導體設備・最後更新:2026年10月13日
公司概要
科林研發的產品以乾式蝕刻(電漿蝕刻)設備為主,另有化學氣相沉積、原子層沉積、電鍍等薄膜沉積設備,以及單晶圓清洗設備。
1996 年在新竹成立台灣技術訓練中心,2008 年在新竹開設全球產品訓練中心。2016 年在桃園中壢工業區成立製造子公司,並作為全球翻新中心。之後又在台南開設辦公室,支援記憶體、先進邏輯與特殊製程客戶。
業務領域:半導體製造設備(蝕刻・薄膜沉積・清洗)
台灣讀者的觀察重點
3D NAND 與先進邏輯的高深寬比蝕刻,使蝕刻設備在晶圓廠投資中的比重提高。
桃園製造子公司讓台灣成為科林研發的零組件與翻新供應據點之一。
主力產品與服務
- •電漿蝕刻設備(導體・介電質蝕刻)
- •薄膜沉積設備(CVD・ALD・電鍍)
- •單晶圓清洗設備
在台據點
新竹據點新竹
1996 年成立的台灣技術訓練中心
Lam Research Manufacturing桃園市中壢區
2016 年成立的製造子公司與全球翻新中心
台南據點台南
支援南部客戶的辦公室與訓練教室
所在的科學園區與產業聚落
相關設備類別
市場地位與競爭廠商
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所屬主題
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