線上（Inline）是半導體製造中指「在生產線中、讓產品一邊流動一邊」進行的用語。代表例是線上量測・線上檢測，將完成製程的產品晶圓直接送入產線內的量測設備・檢測設備，量測膜厚・線寬（CD）・疊對（overlay）・缺陷等。相對地，將晶圓從產線取出、在分析室檢查稱為離線（offline），在設備處理中當場量測稱為 in-situ（原位），3 種方式分開使用。
線上量測的目的是及早發現不良以降低損失。半導體完成前需經過數百道製程與數個月的時間，若到最終電性測試才發現異常，期間投入的所有晶圓都可能成為不良品。因此在各製程後立即量測，以 SPC（統計製程管制）在超出管制界限時停機，或以 APC（先進製程控制）修正下一批的條件。不過全數量測會增加設備台數與 TAT（處理時間），因此一般採抽樣方式，從每批中量測數片、每片晶圓量測數點，並搭配以統計模型推估未量測部分的虛擬量測（virtual metrology）。
Inline 也有「設備之間直接連接」的意思。例如塗佈顯影機（coater/developer）與曝光機（scanner）以 inline 方式連接，光阻塗佈・曝光・顯影能在不經過晶圓搬運的情況下連續進行。這是因為可使到曝後烘烤（PEB）為止的等待時間固定，抑制化學增幅型光阻的尺寸變異。此外，像 inline 型濺鍍設備這種基板以單一方向流經多個處理室的設備架構，也稱為 inline。