Lasertec
專精光學檢測的日本設備商，產品線完整涵蓋 EUV 光罩檢測，並推出全球首款以 13.5nm EUV 光進行圖形光罩檢測的設備。台灣子公司 2010 年在竹北成立。
基本資料
- 原文名稱
- レーザーテック / Lasertec
- 業務領域
- 光罩・晶圓檢測設備
- 分類
- 半導體設備
公司概要
Lasertec 總部位於神奈川縣橫濱市，產品涵蓋 EUV 光罩基板（blank）檢測、EUV 圖形光罩檢測、光罩背面與邊緣檢測，以及晶圓檢測與量測設備。
台灣子公司 Lasertec Taiwan 於 2010 年 7 月在新竹縣竹北市成立，由日本母公司 100% 持有，負責銷售與技術支援。2017 年再以台灣子公司為母公司，在上海成立 Lasertec China。
在台據點
- Lasertec Taiwan地點：新竹縣竹北市2010 年成立，負責銷售與技術支援
主力產品與服務
- EUV 圖形光罩檢測：ACTIS（以 13.5nm EUV 光檢測）、MATRICS（以 193nm 光源檢測）
- EUV 光罩基板檢測：MAGICS、ABICS 系列
- EUV 光罩背面檢測（BASIC）與邊緣檢測（MZ）
台灣讀者的觀察重點
- EUV 光罩上的缺陷會被複製到每一片晶圓上，檢測能力直接影響先進製程的良率。台灣是 EUV 機台最集中的地區之一。
- Lasertec Taiwan 是集團在大中華區的據點起點，上海子公司也由台灣子公司出資成立。
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最後更新：2026-10-06