最後更新:2026年10月8日半導體材料先進半導體材料(前驅物・光罩・接合)中國大陸:半导体材料

半導體材料是什麼

Semiconductor Materials

半導體材料是半導體元件及其製程所使用之各種材料的總稱,涵蓋晶圓基板、薄膜沉積材料、微影材料、研磨材料、清洗藥液、封裝材料等。

定義與原理

半導體材料(Semiconductor Materials)是半導體元件及其製程所使用之各種材料的總稱。範圍涵蓋晶圓基板材料(矽、SiC、GaAs、InP 等)、薄膜沉積材料(CVD・ALD・PVD 用前驅物・靶材)、光阻・顯影液・剝離液等微影材料、研磨材料(CMP 研磨液・研磨墊)、清洗藥液、封裝材料、焊料凸塊材料等。

最重要的基板材料是矽晶圓,由信越化學工業與勝高(SUMCO)主導市場(日本這2家合計全球市占約55%)。化合物半導體(GaAs、InP、GaN、SiC)基板在高頻元件、功率元件、光電元件方面的需求持續擴大,主要廠商有 Wolfspeed(SiC)、Freiberger(GaAs)、Wafer Technology 等。

製程材料的代表例方面,半導體成膜用前驅物(CVD/ALD 原料氣體:TDMAH・HfCl₄ 等 High-k 前驅物、TEOS 等 SiO₂ 前驅物)由 Merck、Entegris、UP Chemical、Versum Materials 等供應。光阻(EUV 用、ArFi 用、KrF 用)的主要廠商為 JSR、東京應化(TOK)、信越化學、DuPont。CMP 用研磨液(磨粒+化學藥品)則由 Entegris(原 Cabot Microelectronics)、日立化成(昭和電工材料)等供應。

隨著往先進節點推進,對材料的要求快速提高。EUV 光阻必須高度兼顧靈敏度、解析性與抗圖案倒塌性,各公司正開發下一代 EUV 光阻(Metal Oxide Resist:MOX)。High-k ALD 前驅物在純度、揮發性與反應性之間的平衡,也直接影響閘極絕緣膜的品質。

半導體材料市場隨著晶片廠商生產規模擴大與先進製程推進而成長。材料成本約占每 1 片晶圓製造成本的 20~30%,特殊高純度材料的穩定供應直接關係到產線的稼動率。Entegris、Merck、信越化學、JSR、住友化學等皆是知名的全球半導體材料廠商。

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