SECS/GEM是用於半導體製造設備與工廠主機(MES等)之間交換資料與指令的通訊標準總稱。這是業界團體SEMI制定的一系列標準,讓任何廠商的設備都能以共通方式連接到工廠系統,一直支撐著半導體工廠的自動化。除了半導體之外,也用於FPD、電子零組件、太陽能電池等的製造設備。
SECS/GEM由多個角色不同的標準構成。SECS-I(SEMI E4)是以RS-232序列線路傳送訊息的方式,HSMS(SEMI E37)則是以TCP/IP網路高速傳送訊息的方式,目前以HSMS為主流。SECS-II(SEMI E5)規定所傳送訊息的格式與意義(以「Stream」與「Function」編號分類)。GEM(SEMI E30)則是規定設備狀態管理、事件報告、警報、遠端指令、處理條件(Recipe)管理等,所有設備共通所需行為的標準。
配合300mm晶圓廠的全自動化,又追加了規定晶圓傳送盒(FOUP)交接與晶圓處理管理等的一系列標準,稱為GEM300。此外,為了高速收集設備大量的感測器資料,用於APC(先進製程控制)與預知保養,也使用稱為EDA(Interface A)的另一組標準。以機器可讀格式描述設備資料定義的SEDD(SEMI E172),則能提高SECS/GEM連線建置的效率。