最後更新:2026年10月8日晶圓廠・廠務設施智慧晶圓廠・製造管理

SECS/GEM(HSMS)是什麼

SECS/GEM

SECS/GEM是用於半導體製造設備與工廠主機(MES等)之間交換資料與指令的SEMI通訊標準群。由規定通訊方式的SECS-I與HSMS(TCP/IP)、規定訊息格式的SECS-II,以及規定設備共通行為的GEM所構成,支撐著300mm晶圓廠的自動化。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

SECS/GEM是用於半導體製造設備與工廠主機(MES等)之間交換資料與指令的通訊標準總稱。這是業界團體SEMI制定的一系列標準,讓任何廠商的設備都能以共通方式連接到工廠系統,一直支撐著半導體工廠的自動化。除了半導體之外,也用於FPD、電子零組件、太陽能電池等的製造設備。

SECS/GEM由多個角色不同的標準構成。SECS-I(SEMI E4)是以RS-232序列線路傳送訊息的方式,HSMS(SEMI E37)則是以TCP/IP網路高速傳送訊息的方式,目前以HSMS為主流。SECS-II(SEMI E5)規定所傳送訊息的格式與意義(以「Stream」與「Function」編號分類)。GEM(SEMI E30)則是規定設備狀態管理、事件報告、警報、遠端指令、處理條件(Recipe)管理等,所有設備共通所需行為的標準。

配合300mm晶圓廠的全自動化,又追加了規定晶圓傳送盒(FOUP)交接與晶圓處理管理等的一系列標準,稱為GEM300。此外,為了高速收集設備大量的感測器資料,用於APC(先進製程控制)與預知保養,也使用稱為EDA(Interface A)的另一組標準。以機器可讀格式描述設備資料定義的SEDD(SEMI E172),則能提高SECS/GEM連線建置的效率。

SECS/GEM(HSMS)的常見問題

SECS/GEM與HSMS有何不同?
SECS/GEM是設備與主機通訊標準的總稱。HSMS(SEMI E37)是其中規定以TCP/IP網路傳送訊息之通訊方式的標準,已取代過去使用序列線路的SECS-I,成為目前的主流。
什麼是GEM?
是Generic Equipment Model(SEMI E30)的縮寫,規定設備狀態管理、事件報告、警報、遠端指令、Recipe管理等,所有製造設備在通訊上共通所需的行為。只要支援GEM,就能以共通方式連接到工廠系統。

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