PSL標準粒子（Polystyrene Latex Standard Particles）是由聚苯乙烯樹脂製成、大小非常一致的正球形微粒。製作的尺寸眾多，直徑從數十nm到數μm都有，用作粒子大小的基準（尺規）。在半導體中，是計數晶圓表面微粒（異物）的檢測設備進行靈敏度與尺寸校正時不可或缺的材料。
晶圓表面檢測設備會以雷射光照射晶圓，再依異物散射光的強度，判定有無異物及其大小。然而散射光強度會因異物的材質與形狀而改變，因此設備是以「若是散射同樣強度光的PSL粒子，相當於幾nm」為基準來顯示大小，這稱為PSL等效尺寸（LSE：Latex Sphere Equivalent）。校正設備時，會量測在潔淨的空白晶圓上撒上特定尺寸PSL粒子所製成的校正用晶圓（標準晶圓），確認檢出靈敏度與尺寸判定是否正確。
校正用晶圓是以專用的粒子沉積設備製作：將含PSL粒子的液體霧化，一邊依大小篩選，一邊噴附到晶圓上。藉由在晶圓上的特定位置附著特定數量的粒子，也能評估設備各位置的靈敏度差異。隨著需檢出的異物越來越微小，業界需要更小、大小更一致的PSL粒子，以及表面粗糙度（haze）更低的基板。PSL粒子也用於計數無塵室空氣中微粒的微粒計數器，以及濾網性能測試的校正。