Surfscan SP7XP的特點與規格

Surfscan SP7XP 是科磊（KLA）於 2020年12月發表的無圖案晶圓缺陷檢測設備。可檢出裸晶圓與無圖案膜（blanket film）上最小等級的缺陷，支援基板・設備・材料・晶片各類廠商的品質管理。

透過 12.5nm 檢測模式與新型低雜訊感測器，具備先進研發所需的靈敏度。也提高了量產所用檢測模式的產能，從研發到量產都能使用同一台設備。

垂直照明（NI）能快速找出埋入變形・刮傷・滑移線・殘留物等材料對比低的缺陷，相位差通道（PCC）則能捕捉淺凸起與殘留物等散射弱的缺陷。並搭載運用機器學習的影像分類（IBC），以及分類 3D NAND 厚膜中埋入缺陷的 Z7 引擎，減少以 FIB・SEM 進行破壞性分析的工夫。